Идентифициране разминаване – или несъответствие на клетките – в анизотропни офорт изисква метод на изчисление, наречен “ компенсация време. “ Това може да се види , когато сте решаване на алгоритъм, използван при симулиране на процеса на ецване на силиций в EDP ​​, КОН или разтвор ТМАН . Когато се използва метод за ецване симулация клетъчни автомати ( CA ) , субстратът е представена от отделни клетки , които се съдържат вътре в структурата на кристалната решетка . Инструкции

1

Напишете уравнението за определяне на броя на ецване стъпки. Това се изразява като N ( т ) = [М /E ( S ) T ] тона . Стойност по подразбиране 1 се използва за T. Стойността на M е кратно на E ( S ) T. Стойността на E ( S ) е [ 0,1] .

2

Напишете уравнението за определяне еквивалентният лихвен процент, ецване на повърхността на материала . Това се изразява като : .

E ( S ) = M /N ( т ) T = М /( М /E ( S ) T ) T = E ( S )

Ако М не е кратно на E ( S ) T , след това разминаване ще се случи , тъй като офорт на следващата клетка не започне веднага.

3

Направете бележка за “ к „, която се използва за идентифициране етап на ецване . Следващата офорт стъпка в процеса е етикетирана като к + 1 . Обърнете внимание на времето за баланс стъпка офорт като Tb ( к) .

4

Напишете уравнението използва за изчисляване на обезщетението време. Това уравнение се изрази както следва:

М ( к ) > E ( S ) (Т + Tb ( к – 1 )

след

T ( к ) = T + Tb ( к – 1 )

М ( к +1 ) = M ( к) – E ( S ) T ( к)

Tb ( к ) = 0

друго

T ( к ) = M ( к) /E ( S )

M ( к +1 ) = 0

Tb ( к ) = T – T ( к)

крайният резултат на резултатите от метода за компенсиране на време в уравнение, което се изразява като :

E ( S ) = М ( к ) /T ( к ) = E ( S ) за стъпка ецване к

<бр. >