Когато един химик или електротехник иска да променя химичните и физичните свойства на повърхността на интегрална схема вафла , тя е известна като преработка плазма. Една от формите на тази обработка се нарича плазмено ецване , която използва тлеещ разряд (известни като плазма) от конкретен газ. Освобождаването от отговорност е освободен като импулси в един поток с висока скорост директно върху проба верига. Източникът на плазмата , известна като ецване видове, може да приеме една от двете характеристики – заредена, които са класифицирани като йони, или неутрално, която е съставена от атоми и радикали. Като започва обработка ецване , изхвърлянето прави стрийминг на веригата ще създаде летливи ецване остатъци в резултат на химична реакция между гравиран материал и вида ецване , създадени от плазма . Физичните и химичните свойства на веригата в крайна сметка се променят като атоми от плазмения поток придават или проникват повърхността . В зависимост от газа, който се използва за поток плазма, плазма ецване полимер може да се образува като остатък след process.Things Ще трябва
интегрираните вафли вериги
плазмен повреждат полимер отстраняване ( PRX – 127 )
Тежкотоварни защитни ръкавици
Surgical маска
защитни очила или очила
Отстраняване танкове
дейонизирана ( DI ) вода за изплакване на резервоара
Spin сешоар или спин- изплакване сешоар MarketBook.bg: Покажи повече Инструкции

1

Plasma Etch полимер -вероятно ще се формира след използване на плазма обработка ецване с флуоровъглеродни – базирани газове като въглероден hydrotrifluoride и октафлуоропропан . Тези газове създават ненаситени съединения в плазмата, които са след това прехвърлени в интегрирани пластини верига. Те трябва да бъдат премахнати , за да може по-нататък плазмена обработка, за да продължите.

2 Обърнете изключително внимание около опасни химикали.

Plasma ецване полимер отстраняване, известен като PRX -127 , е химично съединение, съставено от елементи на етер , сулфоксид и хидроксид , и е изключително опасно да се диша в или докосване. Препоръчително е , че преди да се опитате да използвате този продукт , ръкавици , очила и маска трябва да се носи . Процес на потапяне A wet – пейка е един от най- безопасните начини за справяне с това съединение , и изисква много малко физическо взаимодействие.

3

Напълнете две източване на резервоари, които са предназначени специално за wet – пейка процес с разтвор PRX – 127 и се довежда до температура от 70 до 90 градуса Целзий . Поставете засегнатите вафлите прекъсвачи внимателно в един от резервоарите, които използват защитни ръкавици. Вафлите трябва да стоят в разтвора в продължение на най -малко пет минути , но не повече от 20 минути за оптимален ефект . Се препоръчва метод възбуда механична или звуков базирани A по време на първата баня.

4

Трансфер вафлите от първата източване резервоара на втората веднъж цикъла баня е пълна, и се накисва вафлите отново за пет 20 минути без допълнително разбъркване. Тази втора баня ще премахне съществуващите слоеве от полимер под остатъка върху повърхността на вафлата .

5 дейонизирана вода е напълно чиста вода , без други минерали.

Махни вафлите от разтвора за PRX -127 и ги предава на трети резервоар напълнен с SVC -300 изплакване , решение, което се използва предимно за отстраняване на боя . Това е съвсем безопасно да се използва , тъй като е нетоксичен и незапалим и няма да навредят на вафлите . Вафлите трябва да стоят в този разтвор в продължение на две до три минути . Трансфер вафлите в крайно решение – дейонизирана вода – вътре изплакнете резервоара за шест до осем цикъла и след това да използвате сешоар или спин спин- изплакване сушилня за отстраняване на всички следи от разтвора . Вафлите трябва да са напълно свободни от полимери , а сега са на сигурно място , за да се използва отново за по-нататъшно плазма гравиран преработка.