Атомите се състоят от положително заредени ядра заобиколена от облак от отрицателно заредени електрони. Понякога атоми могат да спечелят или загубят електрони , което води до придобиването им нетен положителен или отрицателен заряд . Един атом със заряд е известен като йон . Плазмата е облак от йони , а това може да има редица приложения в преработващата промишленост полупроводников . A плазма могат да се произвеждат вътре в Argon напълнена вакуумна камера с помощта на захранване , който генерира радиочестотна (RF) radiation.Things ви е нужно
RF вакуумна камера с аргон контролер масов поток
Rotary помпа
Turbo помпа
RF захранване
RF съвпадение мрежа е. 2 RF кабели MarketBook.bg: Покажи повече инструкции

1

Включете ротационната помпа и изчакайте налягането да стигнем до 10 ^ -3 милибара . Включете турбо помпата , и го чакаме да се повиши . Изчакайте, докато налягане от приблизително 10 ^ -6 милибара е достигната.

2

Свържете RF кабел между RF съвпадение блок и RF захранването . Свържете друг кабел между RF съвпадение единица , и контакта на RF електрод вакуумна камера .

3

Частично затваряне на клапата за турбо помпата. Включете контролера масов поток на аргон , и задайте налягане от 15 милибара . Включете захранването и RF съвпадение единица . Задаване на подаваната мощност от 50 вата. The съвпадение единица се чува , тъй като се опитва да сведе до минимум отразени RF мощност. Когато отразената мощност е по-малко от 1 на сто от подаваната мощност , увеличаване на подаваната мощност до около 150 вата. Плазмата в камерата трябва да светне и да е видимо че камерата панорама- порт. Бавно намаляване на подаваната мощност и обратно до 50 вата. Плазмата The RF двойка е създаден.